精密清洗是指當工業設備表面受到物理、化學或生物的作用形成污染層或覆蓋層時，去除這些污染物或覆蓋物使其恢復原來表面狀態。精密清洗具有節能、降耗、延長設備使用壽命、降低環境污染等作用。

精密清洗成為精密加工行業的重要一環，主要原因有兩點：

精密器件多結構復雜、含多孔隙或窄縫、表面含有多種類型的污垢，對于這類材料的清洗往往要很強的滲透性，處理起來對于清洗設備的要求極高，需要極為精細的技術。

此類產品多為新材料制作，在清晰的同時要注重對于工件的保護，不可使用毒性大、腐蝕性強的清洗溶劑，以免對工件造成不可挽回的污染損壞。

精密清洗中潔凈度要求更高，所以對不同潔凈度要求的清洗應選擇不同的清洗系統。 但是應考慮到，潔凈度要求越高，清洗成本也越高，而且生產成本是以幾何級數遞增的，一般潔凈度為98%時的成本要比潔凈度為95%時的成本高幾倍，而要求潔凈度提高到99.9%時成本要提高10倍以上，難度可想而知。

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